Φορτώνει......

Electrical behavior of MIS devices based on Si nanoclusters embedded in SiO(x)N(y )and SiO(2 )films

We examined and compared the electrical properties of silica (SiO(2)) and silicon oxynitride (SiO(x)N(y)) layers embedding silicon nanoclusters (Sinc) integrated in metal-insulator-semiconductor (MIS) devices. The technique used for the deposition of such layers is the reactive magnetron sputtering...

Πλήρης περιγραφή

Αποθηκεύτηκε σε:
Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριοι συγγραφείς: Jacques, Emmanuel, Pichon, Laurent, Debieu, Olivier, Gourbilleau, Fabrice
Μορφή: Artigo
Γλώσσα:Inglês
Έκδοση: Springer 2011
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC3211223/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/21711698
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1186/1556-276X-6-170
Ετικέτες: Προσθήκη ετικέτας
Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!