Estudio mediante difracción de rayos X de las tensiones residuales producidas durante el depósito de películas delgadas de TiN sobre sustratos metálicos
En este trabajo se analizó la influencia que tiene el espesor de la película y el tipo de sustrato en el nivel y tipo de esfuerzos residuales generados en recubrimientos de TiN obtenidos por dos técnicas de deposición física en fase vapor: pulverización catódica con magnetrón e implantación iónica....
保存先:
| 主要な著者: | , , , |
|---|---|
| フォーマット: | Artigo |
| 言語: | Inglês |
| 出版事項: |
Universidad de Antioquia
2010-01-01
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| シリーズ: | Revista Facultad de Ingeniería Universidad de Antioquia |
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=43019327004 |
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