Estudio mediante difracción de rayos X de las tensiones residuales producidas durante el depósito de películas delgadas de TiN sobre sustratos metálicos
En este trabajo se analizó la influencia que tiene el espesor de la película y el tipo de sustrato en el nivel y tipo de esfuerzos residuales generados en recubrimientos de TiN obtenidos por dos técnicas de deposición física en fase vapor: pulverización catódica con magnetrón e implantación iónica....
Salvato in:
| Autori principali: | , , , |
|---|---|
| Natura: | Artigo |
| Lingua: | Inglês |
| Pubblicazione: |
Universidad de Antioquia
2010-01-01
|
| Serie: | Revista Facultad de Ingeniería Universidad de Antioquia |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=43019327004 |
| Tags: |
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne!!
|