Role of the Oxidation State in Cobalt Chemical Mechanical Planarization
ABSTRACT Cobalt (Co) is a promising next‐generation contact metal to replace tungsten for the system‐large‐scale integration devices beyond the 5 nm technology node due to its low resistivity and high gap‐filling capability at high aspect ratios. To complete Co metallization, surface roughness contr...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , , , , |
|---|---|
| التنسيق: | Artigo |
| اللغة: | Inglês |
| منشور في: |
Wiley
2025-12-01
|
| سلاسل: | MetalMat |
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://doi.org/10.1002/metm.70014 |
| الوسوم: |
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|