Análisis y caracterización de un acelerómetro capacitivo fabricado con tecnología polymump's
En este trabajo se presenta el análisis y caracterización del diseño de un acelerómetro del tipo capacitivo desarrollado en el CICTA y fabricado con tecnología PolyMUMP´s.Actualmente los acelerómetros MEMS son fabricados con los procesos convencionales como el micromaquinado en bulto y el micromaqui...
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| Опубликовано в:: | Superficies y vacío |
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| Главные авторы: | , , |
| Формат: | Artigo |
| Язык: | Espanhol |
| Опубликовано: |
Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.
2010
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| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94216137006 |
| Метки: |
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