Diseño de un dispositivo sensor de masa tipo MEMS basado en microvigas en voladizo de polisilicio

Se presentan tres diseños de sensores de masa MEMS basados en vigas en voladizo de polisilicio, los cuales utilizan el principio de cambio de frecuencia debido a una masa añadida mientras operan en oscilación libre. Las estructuras se accionan mediante un actuador electroes tático , que consiste en...

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書誌詳細

出版年:	Superficies y vacío
主要な著者:	R. Sánchez-Fraga, V. H. Ponce-Ponce, M. A. Ramírez-Salinas, H. Estrada-Vázquez, J. Munguía-Cervantes
フォーマット:	Artigo
言語:	Espanhol
出版事項:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2014
主題:	Física, Astronomía y Matemáticas
オンライン･アクセス:	https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94231511005
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