Diseño de un dispositivo sensor de masa tipo MEMS basado en microvigas en voladizo de polisilicio

Se presentan tres diseños de sensores de masa MEMS basados en vigas en voladizo de polisilicio, los cuales utilizan el principio de cambio de frecuencia debido a una masa añadida mientras operan en oscilación libre. Las estructuras se accionan mediante un actuador electroes tático , que consiste en...

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Bibliografiske detaljer

Udgivet i:	Superficies y vacío
Principais autores:	R. Sánchez-Fraga, V. H. Ponce-Ponce, M. A. Ramírez-Salinas, H. Estrada-Vázquez, J. Munguía-Cervantes
Format:	Artigo
Sprog:	Espanhol
Udgivet:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2014
Fag:	Física, Astronomía y Matemáticas
Online adgang:	https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94231511005
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