Diseño de un dispositivo sensor de masa tipo MEMS basado en microvigas en voladizo de polisilicio

Se presentan tres diseños de sensores de masa MEMS basados en vigas en voladizo de polisilicio, los cuales utilizan el principio de cambio de frecuencia debido a una masa añadida mientras operan en oscilación libre. Las estructuras se accionan mediante un actuador electroes tático , que consiste en...

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Detalhes bibliográficos

Publicado no:	Superficies y vacío
Principais autores:	R. Sánchez-Fraga, V. H. Ponce-Ponce, M. A. Ramírez-Salinas, H. Estrada-Vázquez, J. Munguía-Cervantes
Formato:	Artigo
Idioma:	Espanhol
Publicado em:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2014
Assuntos:	Física, Astronomía y Matemáticas
Acesso em linha:	https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94231511005
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