Análisis y caracterización de un acelerómetro capacitivo fabricado con tecnología polymump's
En este trabajo se presenta el análisis y caracterización del diseño de un acelerómetro del tipo capacitivo desarrollado en el CICTA y fabricado con tecnología PolyMUMP´s.Actualmente los acelerómetros MEMS son fabricados con los procesos convencionales como el micromaquinado en bulto y el micromaqui...
Na minha lista:
| Udgivet i: | Superficies y vacío |
|---|---|
| Principais autores: | , , |
| Format: | Artigo |
| Sprog: | Espanhol |
| Udgivet: |
Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.
2010
|
| Fag: | |
| Online adgang: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94216137006 |
| Tags: |
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|