Análisis y caracterización de un acelerómetro capacitivo fabricado con tecnología polymump's
En este trabajo se presenta el análisis y caracterización del diseño de un acelerómetro del tipo capacitivo desarrollado en el CICTA y fabricado con tecnología PolyMUMP´s.Actualmente los acelerómetros MEMS son fabricados con los procesos convencionales como el micromaquinado en bulto y el micromaqui...
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| Publicat a: | Superficies y vacío |
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| Autors principals: | , , |
| Format: | Artigo |
| Idioma: | Espanhol |
| Publicat: |
Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.
2010
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| Accés en línia: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94216137006 |
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