Síntesis de TiN y TiC por la técnica de PAPVD arco pulsado
Los recubrimientos de TiN y TiC se depositaron utilizando la técnica de deposición en fase vapor asistido por plasma (PAPVD)-Arco Pulsado, variando la temperatura del sustrato en valores de 85-100-115°C. Los recubrimientos se analizaron por medio de Dispersión de Fotoelectrones de Rayos X (XPS)) y D...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Scientia Et Technica |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artigo |
| Sprache: | Espanhol |
| Veröffentlicht: |
Universidad Tecnológica de Pereira
2012
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=84925149021 |
| Tags: |
Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!
|
