DISEÑO DE UN EQUIPO INDUSTRIAL DE ARCO PULSADO PARA LA PRODUCCIÓN DE PELICULAS DELGADAS MEDIANTE PAPVD
Se ha diseñado un equipo multicátodo de tipo industrial, para la producción de películas delgadas mediante PAPVD, por la técnica de evaporación por arcos eléctricos pulsados. El equipo se compone de una cámara de vacío, con geometría cilíndrica y dimensiones 1 m de diámetro x 1 m de longitud. Las pi...
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| Опубліковано в:: | Scientia Et Technica |
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| Автори: | , , |
| Формат: | Artigo |
| Мова: | Espanhol |
| Опубліковано: |
Universidad Tecnológica de Pereira
2004
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| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=84911685047 |
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