DISEÑO DE UN EQUIPO INDUSTRIAL DE ARCO PULSADO PARA LA PRODUCCIÓN DE PELICULAS DELGADAS MEDIANTE PAPVD

Se ha diseñado un equipo multicátodo de tipo industrial, para la producción de películas delgadas mediante PAPVD, por la técnica de evaporación por arcos eléctricos pulsados. El equipo se compone de una cámara de vacío, con geometría cilíndrica y dimensiones 1 m de diámetro x 1 m de longitud. Las pi...

Ausführliche Beschreibung

Bibliografische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Scientia Et Technica
Hauptverfasser:	GLORIA PATRICIA ESTRADA, MAURICIO ARROYAVE, ALFONSO DEVIA
Format:	Artigo
Sprache:	Espanhol
Veröffentlicht:	Universidad Tecnológica de Pereira 2004
Schlagworte:	Ingeniería
Online-Zugang:	https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=84911685047
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