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DISEÑO DE UN EQUIPO INDUSTRIAL DE ARCO PULSADO PARA LA PRODUCCIÓN DE PELICULAS DELGADAS MEDIANTE PAPVD

Se ha diseñado un equipo multicátodo de tipo industrial, para la producción de películas delgadas mediante PAPVD, por la técnica de evaporación por arcos eléctricos pulsados. El equipo se compone de una cámara de vacío, con geometría cilíndrica y dimensiones 1 m de diámetro x 1 m de longitud. Las pi...

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הוצא לאור ב:Scientia Et Technica
Principais autores: GLORIA PATRICIA ESTRADA, MAURICIO ARROYAVE, ALFONSO DEVIA
פורמט: Artigo
שפה:Espanhol
יצא לאור: Universidad Tecnológica de Pereira 2004
נושאים:
Ingeniería
גישה מקוונת:https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=84911685047
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