Curvas de presión para el crecimiento de recubrimientos de TiAlN por la técnica Magnetrón Sputtering Tríodo
Se depositó recubrimientos de Nitruro de Titanio (TiAlN) por medio de la técnica Magnetrón Sputtering Tríodo variando la presión. El análisis se realizó aumentando y disminuyendo la presión de trabajo, para determinar las curvas de presión. Estas curvas se realizaron en una atmosfera de N2/Ar y util...
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| Publicado en: | Scientia Et Technica |
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| Principais autores: | , , |
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Espanhol |
| Publicado: |
Universidad Tecnológica de Pereira
2013
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| Assuntos: | |
| Acceso en liña: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=84929984009 |
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