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Curvas de presión para el crecimiento de recubrimientos de TiAlN por la técnica Magnetrón Sputtering Tríodo

Se depositó recubrimientos de Nitruro de Titanio (TiAlN) por medio de la técnica Magnetrón Sputtering Tríodo variando la presión. El análisis se realizó aumentando y disminuyendo la presión de trabajo, para determinar las curvas de presión. Estas curvas se realizaron en una atmosfera de N2/Ar y util...

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Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Εκδόθηκε σε:Scientia Et Technica
Κύριοι συγγραφείς: Diana Marcela Devia Narváez, Diego Fernando Devia Narváez, Harold duque Sánchez
Μορφή: Artigo
Γλώσσα:Espanhol
Έκδοση: Universidad Tecnológica de Pereira 2013
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=84929984009
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