Estudio de Películas Delgadas Cristalinas de TiN Crecidas Mediante Sputtering por Magnetrón en Modo Reactivo

El nitruro de titanio (TiN) es un compuesto de gran aplicabilidad. Abarca campos tales como los circuitos integrados y los implantes ortopédicos. Por tanto, es vital conocer la cinética de crecimiento del TiN y la influencia del sustrato. En este artículo se depositó una película delgada de TiN bajo...

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Kaydedildi:
Detaylı Bibliyografya
Yayımlandı:Revista Politécnica
Asıl Yazarlar: J. García, B. Gómez
Materyal Türü: Artigo
Dil:Espanhol
Baskı/Yayın Bilgisi: Escuela Politécnica Nacional 2015
Konular:
Ingeniería
TiN
textura
defectos
interfase
positrones
Online Erişim:https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=688773649013
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