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Estudio de Películas Delgadas Cristalinas de TiN Crecidas Mediante Sputtering por Magnetrón en Modo Reactivo
El nitruro de titanio (TiN) es un compuesto de gran aplicabilidad. Abarca campos tales como los circuitos integrados y los implantes ortopédicos. Por tanto, es vital conocer la cinética de crecimiento del TiN y la influencia del sustrato. En este artículo se depositó una película delgada de TiN bajo...
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| Publicado no: | Revista Politécnica |
|---|---|
| Main Authors: | , |
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Espanhol |
| Publicado em: |
Escuela Politécnica Nacional
2015
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=688773649013 |
| Tags: |
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