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PELÍCULAS DELGADAS DE NITRURO DE ALUMINIO (AlN)

Este documento pretende hacer una revisión de las principales características estructurales y morfológicas del nitruro de aluminio -AlN- específicamente cuando este es depositado por Magnetrón Sputtering ó por medio de Ablación Láser (PLD). Igualmente como influyen los parámetros de crecimiento como...

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שמור ב:
הוצא לאור ב:Scientia Et Technica
מחבר ראשי: JAIME ANDRÉS PÉREZ TABORDA
פורמט: Artigo
שפה:Espanhol
יצא לאור: Universidad Tecnológica de Pereira 2011
נושאים:
Ingeniería
גישה מקוונת:https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=84922622039
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