PELÍCULAS DELGADAS DE NITRURO DE ALUMINIO (AlN)
Este documento pretende hacer una revisión de las principales características estructurales y morfológicas del nitruro de aluminio -AlN- específicamente cuando este es depositado por Magnetrón Sputtering ó por medio de Ablación Láser (PLD). Igualmente como influyen los parámetros de crecimiento como...
保存先:
| 出版年: | Scientia Et Technica |
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| 第一著者: | |
| フォーマット: | Artigo |
| 言語: | Espanhol |
| 出版事項: |
Universidad Tecnológica de Pereira
2011
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| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=84922622039 |
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