PELÍCULAS DELGADAS DE NITRURO DE ALUMINIO (AlN)
Este documento pretende hacer una revisión de las principales características estructurales y morfológicas del nitruro de aluminio -AlN- específicamente cuando este es depositado por Magnetrón Sputtering ó por medio de Ablación Láser (PLD). Igualmente como influyen los parámetros de crecimiento como...
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| Publicat a: | Scientia Et Technica |
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| Autor principal: | |
| Format: | Artigo |
| Idioma: | Espanhol |
| Publicat: |
Universidad Tecnológica de Pereira
2011
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| Matèries: | |
| Accés en línia: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=84922622039 |
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