Calentador de sustratos compacto y de bajo costo para tratamiento térmico in situ de películas delgadas depositadas por rf-sputtering
En este trabajo se presenta el diseño y construcción de un calentador de sustratos de bajo costo, el cual es capaz de operar en sistemas de alto vacío. Su utilización se centra en proporcionar tratamiento térmico in-situ durante el crecimiento de películas delgadas bajo condiciones de presión contro...
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| Gepubliceerd in: | Revista Mexicana de Física |
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| Hoofdauteurs: | , , , , |
| Formaat: | Artigo |
| Taal: | Espanhol |
| Gepubliceerd in: |
Sociedad Mexicana de Física A.C.
2010
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| Onderwerpen: | |
| Online toegang: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57016003013 |
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