Estudio de películas delgadas de AlN depositadas mediante sputtering por magnetrón DC en modo reactivo: efecto de la presión en la textura

El nitruro de aluminio es un compuesto cerámico con multitud de aplicaciones tecnológicas en muchos campos,tales como la óptica, la electrónica y los dispositivos resonadores. La eficiencia del AlN es altamente dependientede las condiciones experimentales de deposición. En este artículo se analiza...

תיאור מלא

מידע ביבליוגרפי

Principais autores:	J García Molleja, B J Gómez, B Abdallah, M A Djouadi, J Feugeas, P Y Jouan
פורמט:	Artigo
שפה:	Espanhol
יצא לאור:	CEILAP-UNIDEF-CONICET-CITEDEF 2016-01-01
סדרה:	Anales (Asociación Física Argentina)
גישה מקוונת:	https://anales.fisica.org.ar/index.php/analesafa/article/view/2071
תגים:	הוספת תג אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!