Calentador de sustratos compacto y de bajo costo para tratamiento térmico in situ de películas delgadas depositadas por rf-sputtering
En este trabajo se presenta el diseño y construcción de un calentador de sustratos de bajo costo, el cual es capaz de operar en sistemas de alto vacío. Su utilización se centra en proporcionar tratamiento térmico in-situ durante el crecimiento de películas delgadas bajo condiciones de presión contro...
சேமிக்கப்பட்டது:
| இதில் வெளியிடப்பட்டது: | Revista Mexicana de Física |
|---|---|
| முதன்மை ஆசிரியர்கள்: | , , , , |
| வடிவம்: | Artigo |
| மொழி: | Espanhol |
| வெளியிடப்பட்டது: |
Sociedad Mexicana de Física A.C.
2010
|
| பொருள்கள்: | |
| ஆன்லைன் அணுகல்: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57016003013 |
| குறிச்சொற்கள்: |
டாக்ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!
|
