Diseño e implementación de un sistema de fotolitografía para fabricar microdispositivos a partir de películas delgadas

Este artículo presenta el diseño e implementación de un sistema de fotolitografía para fabricar microdispositivos basados en películas delgadas. El sistema trabaja con una fuente ultravioleta (UV) de 380nm y permite obtener microestructuras de 10-200 µm. La implementación se hizo con el proceso de d...

Descripció completa

Dades bibliogràfiques

Publicat a:	Dyna
Autors principals:	Jhon Jairo Realpe, Gilberto Bolaños Pantoja, Juan Fernando Florez
Format:	Artigo
Idioma:	Espanhol
Publicat:	Universidad Nacional de Colombia 2018
Matèries:	Ingeniería
Accés en línia:	https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=49657889037 https://www.redalyc.org/journal/496/49657889037/ https://www.redalyc.org/journal/496/49657889037/html/ https://www.redalyc.org/journal/496/49657889037/49657889037.epub https://www.redalyc.org/journal/496/49657889037/movil
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