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Diseño e implementación de un sistema de fotolitografía para fabricar microdispositivos a partir de películas delgadas
Este artículo presenta el diseño e implementación de un sistema de fotolitografía para fabricar microdispositivos basados en películas delgadas. El sistema trabaja con una fuente ultravioleta (UV) de 380nm y permite obtener microestructuras de 10-200 µm. La implementación se hizo con el proceso de d...
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| Publicado no: | Dyna |
|---|---|
| Main Authors: | , , |
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Espanhol |
| Publicado em: |
Universidad Nacional de Colombia
2018
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=49657889037 |
| Tags: |
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