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Diseño e implementación de un sistema de fotolitografía para fabricar microdispositivos a partir de películas delgadas

Este artículo presenta el diseño e implementación de un sistema de fotolitografía para fabricar microdispositivos basados en películas delgadas. El sistema trabaja con una fuente ultravioleta (UV) de 380nm y permite obtener microestructuras de 10-200 µm. La implementación se hizo con el proceso de d...

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Detalhes bibliográficos
Publicado no:Dyna
Main Authors: Jhon Jairo Realpe, Gilberto Bolaños Pantoja, Juan Fernando Florez
Formato: Artigo
Idioma:Espanhol
Publicado em: Universidad Nacional de Colombia 2018
Assuntos:
Acesso em linha:https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=49657889037
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