Diseño e implementación de un sistema de fotolitografía para fabricar microdispositivos a partir de películas delgadas
Este artículo presenta el diseño e implementación de un sistema de fotolitografía para fabricar microdispositivos basados en películas delgadas. El sistema trabaja con una fuente ultravioleta (UV) de 380nm y permite obtener microestructuras de 10-200 µm. La implementación se hizo con el proceso de d...
Kaydedildi:
| Yayımlandı: | Dyna |
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| Asıl Yazarlar: | , , |
| Materyal Türü: | Artigo |
| Dil: | Espanhol |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
Universidad Nacional de Colombia
2018
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| Konular: | |
| Online Erişim: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=49657889037 https://www.redalyc.org/journal/496/49657889037/ https://www.redalyc.org/journal/496/49657889037/html/ https://www.redalyc.org/journal/496/49657889037/49657889037.epub https://www.redalyc.org/journal/496/49657889037/movil |
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