Estudio mediante difracción de rayos X de las tensiones residuales producidas durante el depósito de películas delgadas de TiN sobre sustratos metálicos
En este trabajo se analizó la influencia que tiene el espesor de la película y el tipo de sustrato en el nivel y tipo de esfuerzos residuales generados en recubrimientos de TiN obtenidos por dos técnicas de deposición física en fase vapor: pulverización catódica con magnetrón e implantación iónica....
Պահպանված է:
| Հրատարակված է: | Revista Facultad de Ingeniería Universidad de Antioquia |
|---|---|
| Հիմնական հեղինակներ: | , , , |
| Ձևաչափ: | Artigo |
| Հրապարակվել է: |
Universidad de Antioquia
2010
|
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=43019327004 |
| Ցուցիչներ: |
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|