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Estudio mediante difracción de rayos X de las tensiones residuales producidas durante el depósito de películas delgadas de TiN sobre sustratos metálicos

En este trabajo se analizó la influencia que tiene el espesor de la película y el tipo de sustrato en el nivel y tipo de esfuerzos residuales generados en recubrimientos de TiN obtenidos por dos técnicas de deposición física en fase vapor: pulverización catódica con magnetrón e implantación iónica....

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Tallennettuna:
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Julkaisussa:Revista Facultad de Ingeniería Universidad de Antioquia
Päätekijät: Mónica Monsalve, Esperanza López, Juan Meza, Fabio Vargas
Aineistotyyppi: Artigo
Julkaistu: Universidad de Antioquia 2010
Aiheet:
Linkit:https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=43019327004
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