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Anchor Loss Reduction of Lamb Wave Resonator by Pillar-Based Phononic Crystal

Energy leakage via anchors in substrate plates impairs the quality factor (Q) in microelectromechanical system (MEMS) resonators. Most phononic crystals (PnCs) require complicated fabrication conditions and have difficulty generating a narrow bandgap at high frequency. This paper demonstrates a pill...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Micromachines (Basel)
Hauptverfasser: Tong, Yinjie, Han, Tao
Format: Artigo
Sprache:Inglês
Veröffentlicht: MDPI 2021
Schlagworte:
Online Zugang:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7825680/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/33430263
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi12010062
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