Загрузка...
Nonlinear Vibration Study Based on Uncertainty Analysis in MEMS Resonant Accelerometer
This paper aims to develop a resonant accelerometer for high-sensitivity detection and to investigate the nonlinear vibration of the MEMS resonant accelerometer driven by electrostatic comb fingers. First, a nonlinear vibration model of the resonator with comb fingers in a MEMS resonant acceleromete...
Сохранить в:
| Опубликовано в: : | Sensors (Basel) |
|---|---|
| Главные авторы: | , , , , |
| Формат: | Artigo |
| Язык: | Inglês |
| Опубликовано: |
MDPI
2020
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7766775/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/33339268 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s20247207 |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|