Ładuje się......
Nonlinear Vibration Study Based on Uncertainty Analysis in MEMS Resonant Accelerometer
This paper aims to develop a resonant accelerometer for high-sensitivity detection and to investigate the nonlinear vibration of the MEMS resonant accelerometer driven by electrostatic comb fingers. First, a nonlinear vibration model of the resonator with comb fingers in a MEMS resonant acceleromete...
Zapisane w:
| Wydane w: | Sensors (Basel) |
|---|---|
| Główni autorzy: | , , , , |
| Format: | Artigo |
| Język: | Inglês |
| Wydane: |
MDPI
2020
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7766775/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/33339268 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s20247207 |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|