טוען...
Nonlinear Vibration Study Based on Uncertainty Analysis in MEMS Resonant Accelerometer
This paper aims to develop a resonant accelerometer for high-sensitivity detection and to investigate the nonlinear vibration of the MEMS resonant accelerometer driven by electrostatic comb fingers. First, a nonlinear vibration model of the resonator with comb fingers in a MEMS resonant acceleromete...
שמור ב:
| הוצא לאור ב: | Sensors (Basel) |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , |
| פורמט: | Artigo |
| שפה: | Inglês |
| יצא לאור: |
MDPI
2020
|
| נושאים: | |
| גישה מקוונת: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7766775/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/33339268 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s20247207 |
| תגים: |
הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
|