טוען...
Optical fiber Fabry-Pérot micro-displacement sensor for MEMS in-plane motion stage
Fabry-Pérot interferometer sensors have been widely used in Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS) due to high displacement accuracy and immunity to electromagnetic noises, but they are still limited by micro scale measurement range. In this paper, a Fabry-Pérot interferometer in-plane displacement...
שמור ב:
| הוצא לאור ב: | Microelectron Eng |
|---|---|
| Main Authors: | , , |
| פורמט: | Artigo |
| שפה: | Inglês |
| יצא לאור: |
2018
|
| נושאים: | |
| גישה מקוונת: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7552813/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/33060873 |
| תגים: |
הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
|