Načítá se...

Impact of Fluid Flow on CMOS-MEMS Resonators Oriented to Gas Sensing

Based on experimental data, this paper thoroughly investigates the impact of a gas fluid flow on the behavior of a MEMS resonator specifically oriented to gas sensing. It is demonstrated that the gas stream action itself modifies the device resonance frequency in a way that depends on the resonator...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Vydáno v:Sensors (Basel)
Hlavní autoři: Perello-Roig, Rafel, Verd, Jaume, Bota, Sebastià, Segura, Jaume
Médium: Artigo
Jazyk:Inglês
Vydáno: MDPI 2020
Témata:
On-line přístup:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7506693/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/32824963
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s20174663
Tagy: Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!