Đang tải...
10 MHz Thin-Film PZT-Based Flexible PMUT Array: Finite Element Design and Characterization
Piezoelectric micromachined ultrasound transducers (PMUT) incorporating lead zirconate titanate PbZr(0.52)Ti(0.48)O(3) (PZT) thin films were investigated for miniaturized high-frequency ultrasound systems. A recently developed process to remove a PMUT from an underlying silicon (Si) substrate has en...
Đã lưu trong:
| Xuất bản năm: | Sensors (Basel) |
|---|---|
| Những tác giả chính: | , , , , , , |
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
MDPI
2020
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7435793/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/32759665 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s20154335 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|