Đang tải...
Electron Reflectometry for Measuring Nanostructures on Opaque Substrates
Here, we present a method for measuring dimensions of nanostructures using specular reflection of electrons from an electronically opaque surface. Development of this method has been motivated by measurement needs of the semiconductor industry(1–4), and it can also be more broadly applicable to any...
Đã lưu trong:
| Xuất bản năm: | Appl Phys Lett |
|---|---|
| Những tác giả chính: | , |
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
2019
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7067307/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/32165739 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1063/1.5113489 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|