Načítá se...
A Silicon Resonant Accelerometer Embedded in An Isolation Frame with Stress Relief Anchor
Bias thermal sensitivity is a significant performance parameter of a silicon resonant accelerometer (SRA) and is normally used to evaluate the degree of engineering practicability. Theoretical analysis demonstrates that temperature-induced stress is the dominant factor that determines the bias tempe...
Uloženo v:
| Vydáno v: | Micromachines (Basel) |
|---|---|
| Hlavní autoři: | , , , , |
| Médium: | Artigo |
| Jazyk: | Inglês |
| Vydáno: |
MDPI
2019
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6780627/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31470623 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi10090571 |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|