Effect of Ge Content on the Formation of Ge Nanoclusters in Magnetron-Sputtered GeZrO(x)-Based Structures

Ge-rich ZrO(2) films, fabricated by confocal RF magnetron sputtering of pure Ge and ZrO(2) targets in Ar plasma, were studied by multi-angle laser ellipsometry, Raman scattering, Auger electron spectroscopy, Fourier transform infrared spectroscopy, and X-ray diffraction for varied deposition conditi...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
الحاوية / القاعدة:Nanoscale Res Lett
المؤلفون الرئيسيون: Khomenkova, L., Lehninger, D., Kondratenko, O., Ponomaryov, S., Gudymenko, O., Tsybrii, Z., Yukhymchuk, V., Kladko, V., von Borany, J., Heitmann, J.
التنسيق: Artigo
اللغة:Inglês
منشور في: Springer US 2017
الموضوعات:
Nano Express
الوصول للمادة أونلاين:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC5355413/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/28314364
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1186/s11671-017-1960-9
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة