Tip Characterization Method using Multi-feature Characterizer for CD-AFM

In atomic force microscopy (AFM) metrology, the tip is a key source of uncertainty. Images taken with an AFM show a change in feature width and shape that depends on tip geometry. This geometric dilation is more pronounced when measuring features with high aspect ratios, and makes it difficult to ob...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Xuất bản năm:Ultramicroscopy
Những tác giả chính: Orji, Ndubuisi G., Itoh, Hiroshi, Wang, Chumei, Dixson, Ronald G., Walecki, Peter S., Schmidt, Sebastian W., Irmer, Bernd
Định dạng: Artigo
Ngôn ngữ:Inglês
Được phát hành: 2015
Những chủ đề:
Article
Truy cập trực tuyến:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4803071/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/26720439
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1016/j.ultramic.2015.12.003
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!

Những quyển sách tương tự