লোডিং...

Direct Growth and Controlled Coalescence of Thick AlN Template on Micro-circle Patterned Si Substrate

High-density micro-circle patterned Si substrates were successfully fabricated for the direct overgrowth of thick AlN templates by using NH(3) pulsed-flow multilayer AlN growth and epitaxial lateral overgrowth techniques. The experimental results show that an 8-μm-thick AlN template was grown at a v...

সম্পূর্ণ বিবরণ

সংরক্ষণ করুন:
গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
প্রকাশিত:Sci Rep
প্রধান লেখক: Tran, Binh Tinh, Hirayama, Hideki, Maeda, Noritoshi, Jo, Masafumi, Toyoda, Shiro, Kamata, Norihiko
বিন্যাস: Artigo
ভাষা:Inglês
প্রকাশিত: Nature Publishing Group 2015
বিষয়গুলি:
অনলাইন ব্যবহার করুন:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4593966/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/26439169
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1038/srep14734
ট্যাগগুলো: ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!