Đang tải...
Direct Growth and Controlled Coalescence of Thick AlN Template on Micro-circle Patterned Si Substrate
High-density micro-circle patterned Si substrates were successfully fabricated for the direct overgrowth of thick AlN templates by using NH(3) pulsed-flow multilayer AlN growth and epitaxial lateral overgrowth techniques. The experimental results show that an 8-μm-thick AlN template was grown at a v...
Đã lưu trong:
| Xuất bản năm: | Sci Rep |
|---|---|
| Những tác giả chính: | , , , , , |
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
Nature Publishing Group
2015
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4593966/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/26439169 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1038/srep14734 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|