লোডিং...
Direct Growth and Controlled Coalescence of Thick AlN Template on Micro-circle Patterned Si Substrate
High-density micro-circle patterned Si substrates were successfully fabricated for the direct overgrowth of thick AlN templates by using NH(3) pulsed-flow multilayer AlN growth and epitaxial lateral overgrowth techniques. The experimental results show that an 8-μm-thick AlN template was grown at a v...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রকাশিত: | Sci Rep |
|---|---|
| প্রধান লেখক: | , , , , , |
| বিন্যাস: | Artigo |
| ভাষা: | Inglês |
| প্রকাশিত: |
Nature Publishing Group
2015
|
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4593966/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/26439169 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1038/srep14734 |
| ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|