Ładuje się......
Low Temperature Reactive Sputtering of Thin Aluminum Nitride Films on Metallic Nanocomposites
Piezoelectric aluminum nitride thin films were deposited on aluminum-molybdenum (AlMo) metallic nanocomposites using reactive DC sputtering at room temperature. The effect of sputtering parameters on film properties was assessed. A comparative study between AlN grown on AlMo and pure aluminum showed...
Zapisane w:
| Wydane w: | PLoS One |
|---|---|
| Główni autorzy: | , |
| Format: | Artigo |
| Język: | Inglês |
| Wydane: |
Public Library of Science
2015
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4508053/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/26193701 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1371/journal.pone.0133479 |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|