Lanean...
Elaboration of nitride thin films by reactive sputtering
O objetivo desse artigo, em um primeiro momento, é uma melhor compreensão da vaporização em um ambiente magnetron reativo DC e as suas conseqüências, tais como o efeito da histeresis e o processo de instabilidade. A segunda parte desse trabalho está dedicada a um estudo de caso: o nitreto de alumíni...
Gorde:
| Argitaratua izan da: | Rem: Revista Escola de Minas |
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| Egile Nagusiak: | , , |
| Formatua: | Artigo |
| Hizkuntza: | Inglês |
| Argitaratua: |
Fundação Gorceix
2006
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| Gaiak: | |
| Sarrera elektronikoa: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=56416733013 |
| Etiketak: |
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