Đang tải...

Modeling and Fabrication of Micro FET Pressure Sensor with Circuits

This paper presents the simulation, fabrication and characterization of a micro FET (field effect transistor) pressure sensor with readout circuits. The pressure sensor includes 16 sensing cells in parallel. Each sensing cell that is circular shape is composed of an MOS (metal oxide semiconductor) a...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Những tác giả chính: Dai, Ching-Liang, Tai, Yao-Wei, Kao, Pin-Hsu
Định dạng: Artigo
Ngôn ngữ:Inglês
Được phát hành: Molecular Diversity Preservation International (MDPI) 2007
Những chủ đề:
Truy cập trực tuyến:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC3841901/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/28903300
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!