Đang tải...
Modeling and Fabrication of Micro FET Pressure Sensor with Circuits
This paper presents the simulation, fabrication and characterization of a micro FET (field effect transistor) pressure sensor with readout circuits. The pressure sensor includes 16 sensing cells in parallel. Each sensing cell that is circular shape is composed of an MOS (metal oxide semiconductor) a...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
Molecular Diversity Preservation International (MDPI)
2007
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC3841901/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/28903300 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|