লোডিং...
Structural and optical characterization of pure Si-rich nitride thin films
The specific dependence of the Si content on the structural and optical properties of O- and H-free Si-rich nitride (SiN(x>1.33)) thin films deposited by magnetron sputtering is investigated. A semiempirical relation between the composition and the refractive index was found. In the absence of Si...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রধান লেখক: | , , , , , |
|---|---|
| বিন্যাস: | Artigo |
| ভাষা: | Inglês |
| প্রকাশিত: |
Springer
2013
|
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC3563568/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/23324447 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1186/1556-276X-8-31 |
| ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|