Đang tải...
III-Nitride grating grown on freestanding HfO(2 )gratings
We report here the epitaxial growth of III-nitride material on freestanding HfO(2 )gratings by molecular beam epitaxy. Freestanding HfO(2 )gratings are fabricated by combining film evaporation, electron beam lithography, and fast atom beam etching of an HfO(2 )film by a front-side silicon process. T...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
Springer
2011
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC3212012/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/21849084 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1186/1556-276X-6-497 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|