Загрузка...

A compact model for early electromigration failures of copper dual-damascene interconnects

A compact model for early electromigration failures in copper dual-damascene interconnects is proposed. The model is based on the combination of a complete void nucleation model together with a simple mechanism of slit void growth under the via. It is demonstrated that the early electromigration lif...

Полное описание

Сохранить в:
Библиографические подробности
Главные авторы: de Orio, R.L., Ceric, H., Selberherr, S.
Формат: Artigo
Язык:Inglês
Опубликовано: Pergamon Press 2011
Предметы:
Online-ссылка:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC3178013/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/21966026
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1016/j.microrel.2011.07.049
Метки: Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!