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Thermally Induced Nano-Structural and Optical Changes of nc-Si:H Deposited by Hot-Wire CVD
<p>Abstract</p> <p>We report on the thermally induced changes of the nano-structural and optical properties of hydrogenated nanocrystalline silicon in the temperature range 200–700 °C. The as-deposited sample has a high crystalline volume fraction of 53% with an...
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| Main Authors: | , , , , , , , |
|---|---|
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Inglês |
| Publicado em: |
SpringerOpen
2009-01-01
|
| Colecção: | Nanoscale Research Letters |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | http://dx.doi.org/10.1007/s11671-008-9243-0 |
| Tags: |
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