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Analysis of thickness-dependent optical parameters of a-Si:H/nc-Si:H multilayer thin films
Abstract Multilayer thin films with alternate hydrogenated amorphous (a-Si:H) and nanocrystalline silicon (nc-Si:H) layers are deposited in hot wire chemical vapor deposition (HWCVD) chamber using hydrogen (H2) dilution of silane (SiH4). Two sets (two samples for each set) have different nc-Si:H lay...
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| Main Authors: | , |
|---|---|
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Inglês |
| Publicado em: |
SpringerOpen
2017-10-01
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| Colecção: | Materials for Renewable and Sustainable Energy |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | http://link.springer.com/article/10.1007/s40243-017-0107-3 |
| Tags: |
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