Role of the Oxidation State in Cobalt Chemical Mechanical Planarization
ABSTRACT Cobalt (Co) is a promising next‐generation contact metal to replace tungsten for the system‐large‐scale integration devices beyond the 5 nm technology node due to its low resistivity and high gap‐filling capability at high aspect ratios. To complete Co metallization, surface roughness contr...
Kaydedildi:
| Asıl Yazarlar: | , , , , , , , |
|---|---|
| Materyal Türü: | Artigo |
| Dil: | Inglês |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
Wiley
2025-12-01
|
| Seri Bilgileri: | MetalMat |
| Konular: | |
| Online Erişim: | https://doi.org/10.1002/metm.70014 |
| Etiketler: |
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|