Fabrication and Characterization of CMOS-MEMS Thermoelectric Micro Generators
This work presents a thermoelectric micro generator fabricated by the commercial 0.35 μm complementary metal oxide semiconductor (CMOS) process and the post-CMOS process. The micro generator is composed of 24 thermocouples in series. Each thermocouple is constructed by p-type and n-type polysilicon...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
MDPI AG
2010-02-01
|
| Loạt: | Sensors |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | http://www.mdpi.com/1424-8220/10/2/1315/ |
| Các nhãn: |
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|